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Pre-Aligner는 Wafer의 Marking을 읽기 위한 Wafer의
Align이나, 정확한 Centering이 필요한 경우 사용된다.
검사 장비에서 Wafer의 정확한 Centering과 Notch와 Plat의 정렬은 검사 장비의
성능을 좌우 한다.
Wafer의 Dot-Marking은 Notch나 Plat을 기준으로 특정한 위치에 기록된다.
Pre-Aligner는 Wafer를 Centering하고 Dot-Marking을 읽기위한 Angle로
Wafer를 회전시키는 역할을 한다.
또, Edge의 가공이나 고속회전이 필요한 장치를 위한 Centering에도 사용된다. |
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◈ Modular wafer pre-aligner with NO external dedicated
controller Footprint advantage, improved wafer flow
◈ Class 1 cleanroom compatible
◈ Highly reliable and repeatable positioning
◈ Fastest cycle time ( High throughput )
◈ Easy to use and install |
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| Item |
Specifications |
| Dimension |
210(W)x285(D)x344.8(H) |
| Wafer Size |
200mm |
| Alignment Accuracy |
Centering : ± 0.05mm
Rotation : ± 0.05˚ |
| Alignment time |
Within 4secs/wafer |
| Utility Requirement |
Vacuum : over 500mmHg
Input power : 24Vdc/6A |
| Interface |
RS-232C |
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