Inspection 공정에서 Accept 및 Reject 유무를 Host로부터 받아 최종적으로
Wafer를 ID별로 분류하여 FOUP 및 FOSB로 이재하는 장치이다.
 
◈ ID의 Marking 위치에(Front Side, Back Side, Angle) 구애 받지 않고 읽을 수 있게 하기 위해 OCR Module을 3축으로
  이동되도록 Flexible하게 설계.
◈ 빠르고 정확한 OCR 기능을 기반으로 Mixing lot 검출, Laser Marking시 character Missing 여부 검출, Character의 심한
  훼손에 의한 OCR 실패 등을 검출 가능.
◈ 사용자가 쉽게 사용할 수 있는 GUI로 구성되며, 각종 Error Logging 및 Self Diagnosis에 의한
◈ Error 검출을 할 수 있으며 Error 발생 시 Operator에게 Case 별로 적절한 대응 방법을 Screen 상에 제시함으로써
 신속하게 작업으로의 복귀가 가능.
◈ 각 부분 핵심 Module을 이력 관리함으로써 문제 발생 시 추적이 가능.
◈ Compact 한 Moving Pass를 구성함으로써 Throughput이 극대화 되도록 설계
◈ SEMI Standard 및 사용자의 안정성을 고려한 Compact Load / Unload Port 채택.
◈ Mini-environment를 설치함으로써 Class 10의 완벽한 Particle control 가능.
◈ ESD(Electro static discharge)로부터의 안전성을 고려한 설계.
 
Description Specification
Dimension (W x D x H)   3338 x 2162 x 2142.5 mm
Weight   About 1600 Kg
Utility Electric Power   3P, 3Φ, 220V/60Hz, 10A
UPS   1P, 220V/60Hz, 300W
Vacuum   >500mmHg
Air Pressure   > 5 Bar
Performance Handling Wafer   12”
Throughput   Target FOSB(OK 경우) : >130 Wafers/Hr
  Target FOUP(NG 경우) : >80 Wafers/Hr
Lord Port   FOUP Opener : 1 Ports
Unload Port   FOSB Opener : 2 Ports
  FOUP Opener : 5 Ports
Transfer Robot   Edge Grip & Single Arm Type 4축 Robot : 2대
OCR   Cognex사 In-Sight 1701 : 2대 (Front / Back Side)
BCR   For FOUP Opener : Keyence BL-601HASO(7099)
  For FOSB Opener : Handy Type
Pre Aligner   Edge Grip Type : 1대
Environment   FFU / lonizer
  Cleanliness : Class 10 @ 0.1㎛
Host Communication   TCP/IP Port and SECS/GEM for Host Grading