Laser Mark Reader는 Host의 명령에 따라 Wafer의 ID를 판별하여 원하는
위치의 FOUP으로 Wafer를 이재하는 장치이다.
 
◈ ID의 Marking 위치에 (Front Side, Back Side, Angle) 구애받지 않고 읽을 수 있게 하기 위해 OCR Module을 3축으로
  이동되도록 Flexible하게 설계.
◈ 빠르고 정확한 OCR 기능을 기반으로 Mixing lot 검출, Laser Marking시 Character Missing 여부 검출 Character의 심한
  훼손에 의한 OCR 실패 등을 검출 가능.
◈ 사용자가 쉽게 사용할 수 있는 GUI로 구성되며, 각종 Error Logging 및 Self Diagnosis에 의한 Error 검출을 할 수 있으며
  Error 발생 시 Operator에게 Case 별로 적절한 대응 방법을 Screen 상에 제시함으로써 신속하게 작업으로의 복귀가 가능.
◈ 각 부분 핵심 Module을 이력 관리함으로써 문제 발생 시 추적이 가능.
◈ Compact한 Moving Pass를 구성함으로써 Throughput이 극대화 되도록 설계.
◈ SEMI Standard 및 사용자의 안정성을 고려한 Compact Load / Unlaod Port 채택.
◈ Mini-environment를 설치함으로써 Class 10의 환벽한 Particle control 가능.
◈ ESD(Electro static discharge)로부터의 안전성을 고려한 설계.
 
Description Specification
Dimension (W x D x H)   1439 x 1204 x 1850mm
Utility Electric Power   1P, 220V/60Hz, 2.5Kw
Vacuum   >500mmHg
Air Pressure   > 5 Bar
Performance Handling Wafer   12”
Throughput   >106 Wafers/Hr
Lord/Unload Port   FOUP Opener : 2Ports
Transfer Robot   Edge Grip & Single Arm Type 4축 Robot : 1대
OCR   Cognex사 In-Sight 1701 : 2대 (Front / Back Side)
BCR   FOUP Opener : Keyence BL-601HASO(7099)
  Manual용 Handy Barcode Reader : 1대
Pre Aligner   Edge Grip Type : 1대
Buffer Arm   Edge Grip Type : 1대
Environment   FFU / lonizer bar
  Cleanliness : Class 10 @ 0.1㎛
Host Communication   TCP/IP Port and SECS/GEM for Host Grading