|
|
|
|
|
|
|
IngotÀ» SlicingÈÄ Stocker¿¡ ÀúÀåÇÏ¿´´Ù°¡
Host¿¡ ÀÇÇØ °¢ °øÁ¤º°·Î Wafer¸¦
ºÐ·ùÇÏ¿© RunÀ» ÁøÇàÇϵµ·Ï ÇÏ´Â ÀåÄ¡
|
|
|
|
|
¢Â °¢ ºÎºÐ ÇÙ½É ModuleÀ» ÀÌ·Â °ü¸®ÇÔÀ¸·Î½á ¹®Á¦ ¹ß»ý ½Ã ÃßÀûÀÌ
°¡´É
¢Â Compact ÇÑ Moving Pass¸¦ ±¸¼ºÇÔÀ¸·Î½á ThroughputÀÌ
±Ø´ëÈ µÇµµ·Ï ¼³°è
¢Â ESD(Electro static discharge)·ÎºÎÅÍÀÇ ¾ÈÀü¼ºÀ» °í·ÁÇÑ
¼³°è |
|
|
|
|
|