`디스플레이 설비투자 한파, 태양전지 장비사업으로 녹인다'

29일 관련업계에 따르면 아이피에스에 이어, 주성엔지니어링ㆍ디엠에스 등 국내 대표적인 반도체ㆍ디스플레이 장비기업들이 최근 급성장하고 있는 태양전지(solar cell) 장비사업으로의 진입에 적극 나서고 있다.

태양전지 공정은 5세대급 LCD 공정과 매우 흡사하므로, 기존 LCD 공정장비를 주력으로 확보한 기업들에 있어 태양전지 장비사업에 따른 진입장벽이 높지 않다는 게 업계의 평가다.

이와 관련 장비기업들에 있어 LCDㆍPDP 등 최근 얼어붙은 디스플레이 설비투자와 관련, 태양전지 장비사업이 하나의 대안으로 자리잡을 수 있을지 관심이 모아지고 있다.

디엠에스(대표 박용석)는 최근 태양전지장비사업 전담팀(TFT)을 구성해 올 하반기 중 태양전지 공정장비 일부를 출시할 계획이라고 밝혔다.

회사 측은 기존 LCD 장비기술을 적용해 태양전지 공정용 세정장비 등을 개발하고 있으며, 이외의 장비들은 외주제작(아웃소싱)을 통해 태양전지 공정에 따른 인라인시스템을 갖추고 국내외 시장을 공략할 것이라고 설명했다.

이와 관련 디엠에스는 지난해 말 독자적인 진공장치 기술을 보유한 에이브이엠에스(AVMS)를 자회사로 확보, 관련기술을 태양전지 장비 개발에 활용할 계획이다.

주성엔지니어링(대표 황철주)은 최근 한국철강으로부터 태양전지 공정용 화학증착장비(CVD) 등을 수주했다.

회사 측은 기존 고가의 규소원판(Si wafer)이 아닌 유리기판 위에 박막을 입히는 화학증착장비 등을 한국철강에 공급키로 했다고 설명했다. 이를 통해 주성은 반도체 원자층증착장비(ALD) 및 LCD 화학증착장비 등에 이어 태양전지 장비를 매출원으로 확보, 사업다각화를 이뤄냈다는 평가다.

이에 앞서 아이피에스(대표 문상영)는 2004년부터 태양전지 공정용 화학증착장비와 식각장비(etcher) 등을 일본에 수출하고 있다고 밝혔다.

이 회사는 태양전지 장비를 비롯한 LCD 장비사업을 본격화하기 위해 2005년 경기 평택 포승산업단지에 제2공장을 건설했으며, 특히 태양전지 장비기술을 활용해 7세대 LCD 공정용 핵심장비인 건식 식각장비(dry etcher)도 개발, 삼성전자에 공급한 바 있다.

강경래기자 butter@