제목 [뉴스]반도체 장비 `선진기술 수혈`
작성자 관리자 작성일 2007-07-10 09:05:52 조회수 8688
반도체 장비 `선진기술 수혈`
코닉ㆍ에스엔유프리시젼등 미ㆍ일 연구진과 공동 기술개발
 



국내 반도체 장비기업들이 해외 선진기술 도입에 적극 나서고 있어 주목된다.

9일 관련업계에 따르면 코닉시스템과 에스엔유프리시젼, 유니테스트, 아티스 등은 미국과 일본 업체 및 연구진과 공동개발과 기술도입 등에 긴밀하게 협력하고 있다.

이는 국내 기업들이 전세계 반도체 장비 분야를 선도하고 있는 미국과 일본 업체들의 연구진을 적극 활용함으로서 글로벌 경쟁력을 확보하려는 전략으로 풀이된다.

코닉시스템(대표 정기로)은 미국업체와 공동개발에 들어간 박막 태양전지 공정장비를 오는 10월 첫 출하할 예정이다.

회사 측은 기존 실리콘 입자를 박막 태양전지 유리기판 위에 가스 형태로 증착하는 방법이 아닌, 레이저로 실리콘 입자를 유리기판 위에 균일한 두께로 입히는 신개념 증착장비 제조기술을 미국 나노그램으로부터 도입해 생산할 것이라고 설명했다.

코닉시스템은 오는 10월 신개념 박막 태양전지 증착장비를 나노그램을 통해 미국시장에 공급할 계획이다.

에스엔유프리시젼(대표 박희재)역시 반도체 공정용 전자현미경을 미국업체로부터 기술을 도입해 개발할 예정이다.

회사 측은 미국 나노메트릭스로부터 빛이 아닌 전자를 광원으로 하는 전자현미경 제조기술을 이전 받아, 반도체 웨이퍼 측정공정에 사용되는 `CD(Critical Dimension)전자현미경'을 개발하고 있다고 설명했다.

회사 측은 "나노메트릭스와의 협력으로 기존 LCD 측정장비 부문에 이어 반도체 측정장비 비중을 강화할 것"이라고 말했다.

유니테스트(대표 김종현)는 일본 연구진과 공동으로 낸드플래시 주검사장비를 연내 개발할 계획이다.

회사 측은 작년 상반기 일본 연구개발(R&D)센터인 `유니테스트재팬'을 설립해 현지 연구진과 국내 인력들이 함께 차기 반도체 주검사장비을 개발하고 있다고 설명했다.

유니테스트 관계자는 "일본 연구진과 낸드플래시 주검사장비인 `UNI660'은 물론 웨이퍼레벨 주검사장비 등을 공동개발하고 있다"고 말했다.

아티스(대표 이재화) 역시 일본 에스이에스(SES)와 전략적인 협력을 통해 해외시장 공략에 나서고 있다.

회사 측은 "에스이에스와 공조를 이뤄 그동안 내수시장에 그쳤던 반도체 세정장비 공급처를 최근 일본 T사를 비롯해 중국과 동남아 시장으로 확대하고 있다"고 밝혔다.

강경래기자 butter@