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공정에 필요한 배기 압력을 정밀하게 제어하여 공정의 균일성을 높여 주는 장치이다.
본
장치는 Exhaust 배관에 연결하는 Exhaust Valve와 이를 제어하는 Controller로
구성되어 있다.
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◈ 압력 범위 내에서 정밀한 제어가 가능하다.
◈ 공정의 균일성을 증대시킨다.
◈ 압력 설정 Point에 대한 빠른 응답성 제공한다.
◈ 사용하는 Chemical에 따라 재질 변경이 가능하다.
◈ 설치 및 Maintenance가 간편하다.
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| Item |
Specifications |
| Exhaust Range |
150 ~ 1000 Pa |
| Operation Range |
0 ~ 500 Pa |
| Set Point Accuracy |
± 5 Pa Set Point |
| Response to Set
Point Change |
< 1.0 sec |
| Chemical Compatibility |
Acids, Basis, Solvents |
| Power |
24Vdc, 600mA |
| Interface |
RS-232C or RS-485 |
| Dimension (W x D
x H) |
130 x 120 x 200mm (Valve) |
| 202.6 x 115 x 61mm (Controller) |
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