공정에 필요한 배기 압력을 정밀하게 제어하여 공정의 균일성을 높여 주는 장치이다.
  본 장치는 Exhaust 배관에 연결하는 Exhaust Valve와 이를 제어하는 Controller로 구성되어 있다.
 
◈ 압력 범위 내에서 정밀한 제어가 가능하다.
◈ 공정의 균일성을 증대시킨다.
◈ 압력 설정 Point에 대한 빠른 응답성 제공한다.
◈ 사용하는 Chemical에 따라 재질 변경이 가능하다.
◈ 설치 및 Maintenance가 간편하다.
 
Item Specifications
Exhaust Range 150 ~ 1000 Pa
Operation Range 0 ~ 500 Pa
Set Point Accuracy ± 5 Pa Set Point
Response to Set Point Change < 1.0 sec
Chemical Compatibility Acids, Basis, Solvents
Power 24Vdc, 600mA
Interface RS-232C or RS-485
Dimension (W x D x H) 130 x 120 x 200mm (Valve)
202.6 x 115 x 61mm (Controller)