Lamp House는 Wafer Edge Exposure에 필요한 UV 광원 장치이다.

본 장치는 직광형 UV 경통과 일체형으로 개발되어 광효율을 극대화
하였고 제어부와 Lamp부를 분리하여 설치공간 활용이 용이하다.

 
◈ 적용가능 Lamp가 다양하다. ( 보민 유멕스 : B250HS, TEL사 ACT12용 250W Lamp, OSRAM 250W Lamp )
◈ ArF용 PR 대응이 가능하다.
◈ 광효율 극대화를 위한 수직 구조 설계
◈ 제어부와 Lamp부의 분리로 설치공간 활용 용이